一种气质联用仪载气控制气路装置

摘要

本实用新型涉及一种气质联用仪。本实用新型公开了一种气质联用仪载气控制气路装置，其中，质量流量计一通过T型三通一与电磁阀二的一端连接，电磁阀二的另一端与汽化室连接，T型三通一还与电磁阀一的一端连接，电磁阀一的另一端与T型三通二连接，T型三通二还与汽化室的载气入口连接，T型三通二还与压力传感器的一端连接，压力传感器另一端通过质量流量计二与稳流阀的出气口连接，稳流阀还连接一个指针式压力表，针型阀连接在汽化室的吹扫气出口端用于调节吹扫气的流量，汽化室还与毛细柱连接。本实用新型能实现压力/流量控制、横流恒压模式控制、温度流速补偿，能明显降低分流状态电磁阀切换时的压力/流量波动和反应时间慢的问题。

主权项

一种气质联用仪载气控制气路装置，其特征在于：质量流量计一通过T型三通一与电磁阀二的一端连接，电磁阀二的另一端与汽化室连接，T型三通一还与电磁阀一的一端连接，电磁阀一的另一端与T型三通二连接，T型三通二还与汽化室的载气入口连接，T型三通二还与压力传感器的一端连接，压力传感器另一端通过质量流量计二与稳流阀的出气口连接，稳流阀还连接一个指针式压力表，针型阀连接在汽化室的吹扫气出口端用于调节吹扫气的流量，所述汽化室还与毛细柱连接。