Y型分岔光波导及其制作方法

摘要

本发明涉及一种Y型分岔光波导，其包括一个总枝，自该总枝末端延伸出的一个第一分枝及一个第二分枝，该第一分枝与该第二分枝共同形成一个分岔，该总枝末端于该分岔处具有一个端面，该第一分枝与该第二分枝由该端面连接。本发明还涉及一种Y型分岔光波导的制作方法，其包括：提供一个导光基底及一个含有与上述Y型分岔光波导对应的图形的遮罩；以及将该遮罩应用于黄光微影制程中以利用该遮罩于该导光基底形成该Y型分岔光波导。上述光波导结构使分岔处非为一个尖角，如此使制程容易，产品良率高，如此光信号的损耗较低，同时使两个分枝的分岔角度容易控制。

主权项

一种Y型分岔光波导，其包括一个总枝，自该总枝末端延伸出的一个第一分枝及一个第二分枝，该第一分枝与该第二分枝共同形成一个分岔，其特征在于：该总枝末端于该分岔处具有一个端面，该第一分枝与该第二分枝由该端面连接。