具有应力保护结构的半导体结构与其形成方法

摘要

本发明公开了一种具有应力保护结构的半导体结构，包括有基底、应力产生元件以及应力保护装置。基底具有第一表面以及第二表面，两个相对设置。应力产生元件设置在基底中。应力保护结构，设置在基底第一表面的一侧，应力保护结构包围应力产生元件，且应力保护结构内部具有密封的空气空间。本发明还提供了一种形成具有应力保护结构的半导体结构的方法。

主权项

一种具有应力保护结构的半导体结构，其特征在于，包括：基底，具有第一表面以及第二表面，两个相对设置；应力产生元件，设置在所述基底中；以及应力保护结构，设置在所述基底的所述第一表面的一侧，所述应力保护结构包围所述应力产生元件，且所述应力保护结构内部具有密封的空气空间。