SiC晶体生长炉测温窗

摘要

本发明公开了一种SiC晶体生长炉测温窗，解决了现有SiC晶体生长炉的观察窗容易被遮蔽的问题。包括炉体（1），与炉体（1）的底座（2）固定连接的法兰（3），在法兰（3）的设置有与炉体（1）的内部连通的测温窗孔，在测温窗孔上固定连接有夹层连接管（4），在夹层连接管（4）的外层管壁上连有进气管（5），在夹层连接管（4）的内层管壁（6）上沿内层管壁间隔地并与水平面平行地设置有一圈小进气孔（12），夹层连接管（4）的下端与观察窗玻璃（8）固定连接在一起，在夹层连接管（4）的下端的观察窗玻璃（8）的下方设置有红外测温头（10）。本发明的有益效果是，结构简单，成本低廉。

主权项

一种SiC晶体生长炉测温窗,包括炉体（1），与炉体（1）的底座（2）固定连接的法兰（3），在法兰（3）的中央设置有与炉体（1）的内部连通的测温窗孔，其特征在于，在所述的测温窗孔上固定连接有夹层连接管（4），在夹层连接管（4）的外层管壁上连有进气管（5），在夹层连接管（4）的内层管壁（6）上沿内层管壁间隔地并与水平面平行地设置有一圈小进气孔（12），夹层连接管（4）的下端与观察窗玻璃（8）固定连接在一起，夹层连接管（4）的内层管壁与夹层连接管（4）的外层管壁组成一封闭空间，在夹层连接管（4）的下端的观察窗玻璃（8）的下方设置有红外测温头（10）；夹层连接管（4）的下端与观察窗上法兰（7）固定连接，在观察窗上法兰（7）的下方设置有观察窗下法兰（9），在观察窗上法兰（7）与观察窗下法兰（9）之间固定设置该观察窗玻璃（8）；红外测温头（10）是通过架体（11）固定设置在炉体（1）的底部连接法兰（3）的下底面上的。