| 发明名称 |
Strahlführungsoptik für ein Vielstrahlsystem |
| 摘要 |
Ein optisches Vielstrahlsystem (1; 125) zur Bearbeitung und/oder Untersuchung einer Oberfläche (8; 126) umfasst ein Bauelement (52) mit einer Vielzahl von verlagerbaren Spiegel-Elementen (27), mittels welcher unterschiedliche Strahlen (135i) in unterschiedliche Foki (136i) auf die Oberfläche (6; 126) fokussierbar sind.
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| 申请公布号 |
DE102012206609(A1) |
申请公布日期 |
2013.10.24 |
| 申请号 |
DE201210206609 |
申请日期 |
2012.04.23 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT GMBH |
发明人 |
VOELCKER, MARTIN;FELDMANN, HEIKO;HILLERICH, BERND |
| 分类号 |
G02B26/08;G03F7/20 |
主分类号 |
G02B26/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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