电磁驱动电磁检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法

摘要

本发明提供一种电磁驱动电磁检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法，包括不带释放孔的圆盘振子，圆柱形的支撑柱，基板，电磁驱动线圈、电磁检测线圈和隔离电极，圆盘振子通过圆柱形的支撑柱固定在基板上，且圆盘振子垂直于基板的z轴；电磁驱动线圈、电磁检测线圈和隔离电极呈圆周分布于基板上并位于圆盘振子下方，同时与圆盘振子平行且有一间隙；隔离电极分布于电磁驱动线圈与电磁检测线圈之间。该陀螺利用非接触式的驱动检测电极对陀螺进行驱动检测，减小了谐振子受外界的影响。该微陀螺采用MEMS加工工艺，制作工艺简单，可靠性高，能保证较低的成本和较高的成品率。本发明体积小，结构简单，加工工艺易于实现，适用于批量化生产。

主权项

一种电磁驱动电磁检测体声波谐振三轴微陀螺，其特征在于：所述陀螺包括不带释放孔的圆盘振子，圆柱形的支撑柱，基板，电磁驱动线圈，电磁检测线圈和隔离电极，其中：所述圆盘振子通过所述圆柱形的支撑柱固定在基板上，且所述圆盘振子垂直于所述基板的z轴；所述电磁驱动线圈、所述电磁检测线圈和所述隔离电极呈圆周分布于所述基板上并位于所述圆盘振子下方，同时与所述圆盘振子平行且有一间隙；所述隔离电极分布于所述电磁驱动线圈与所述电磁检测线圈之间，并按照电磁驱动线圈、隔离电极、电磁检测线圈、隔离电极、电磁驱动线圈的排列顺序，交叉循环分布。