Recipe管理方法和系统以及半导体设备控制系统

摘要

本发明公开了一种用于半导体设备的Recipe管理方法、Recipe管理装置及半导体设备控制系统。该Recipe管理方法包括：判断RecipeStep信息的RecipeStepName中是否包括预先设置的循环步骤标识，所述循环步骤标识用于标识所述RecipeStep信息中的循环Step内容；若判断出所述RecipeStepName中包括所述循环步骤标识，根据获取的所述循环Step内容和所述循环步骤标识执行Recipe操作指令；若判断出所述RecipeStepName中未包括所述循环步骤标识，根据所述RecipeStep信息逐步执行Recipe操作指令。该用于半导体设备的Recipe管理方法对于循环Step内容无需执行重复操作，减少了人力和资源的浪费，从而减少了操作时间的开销。

主权项

一种用于半导体设备的Recipe管理方法，其特征在于，包括：判断RecipeStep信息的RecipeStepName中是否包括预先设置的循环步骤标识，所述循环步骤标识用于标识所述RecipeStep信息中的循环Step内容；若判断出所述RecipeStepName中包括所述循环步骤标识，根据获取的所述循环Step内容和所述循环步骤标识执行Recipe操作指令；若判断出所述RecipeStepName中未包括所述循环步骤标识，根据所述RecipeStep信息逐步执行Recipe操作指令。