用于控制电容性湿度传感器的灵敏度和值的方法和装置

摘要

湿度传感器及其形成方法。提供衬底，在衬底上沉积多个湿度感测元件以形成其湿度传感器。每个湿度感测元件一般包括关联的特定寄生电容。该特定寄生电容被用于降低和/或控制与湿度传感器相关联的灵敏度和总电容值，而不增加湿度传感器和/或湿度传感器元件(例如电容器)的大小。

主权项

一种用于形成电容性湿度传感器的方法，包括：提供衬底；在所述衬底上沉积二氧化硅层；在所述二氧化硅层上沉积氮化层；以及在所述氮化层上形成TiW层；在所述TiW层上形成湿度感测介质；以及在所述湿度感测介质上形成多孔铂层；其中，所述TiW层、所述湿度感测介质和所述多孔铂层形成位于所述氮化层上的第一与第二串联活性湿度电容器，并且其中，提供所述衬底包括提供在所述衬底上形成的多个寄生元件，被配置为控制与所述湿度传感器相关联的灵敏度和总电容值。