| 发明名称 | 物理量传感器以及电子设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种物理量传感器以及电子设备，所述物理量传感器能够抑制在可动体上产生应力的情况。本发明所涉及的物理量传感器（100）包括：基板(10)；固定部(32)及固定电极部(39a、39b)，其被固定在基板(10)上；可动体(34)，其具备支承部(35)、可动电极部(38)以及弹簧部(36)，并且能够沿着与第一轴交叉的第二轴而进行位移，其中，所述支承部(35)在俯视观察时被设置在固定部(32)的周围，所述可动电极部(38)被支承在支承部(35)上并沿着第一轴而延伸，且以与固定电极部(39a、39b)对置的方式而配置，所述弹簧部(36)对固定部(32)和支承部(35)进行连结，支承部(35)具备沿着第一轴而延伸的第一梁部(35a、35b)、和沿着第二轴而延伸的第二梁部(35c、35d)。 | ||
| 申请公布号 | CN103364588A | 申请公布日期 | 2013.10.23 |
| 申请号 | CN201310113208.X | 申请日期 | 2013.04.02 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 田中悟 |
| 分类号 | G01P15/125(2006.01)I | 主分类号 | G01P15/125(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人 | 黄威;苏萌萌 |
| 主权项 | 一种物理量传感器，包括：基板；固定部及固定电极部，其被固定在所述基板上；可动体，其具备支承部、可动电极部以及弹簧部，并且能够沿着与所述第一轴交叉的第二轴进行位移，其中，所述支承部在俯视观察时被设置在所述固定部的周围，所述可动电极部被支承在所述支承部上并沿着第一轴而延伸，且以与所述固定电极部对置的方式而配置，所述弹簧部对所述固定部和所述支承部进行连结，所述支承部具备沿着所述第一轴而延伸的第一梁部、和沿着所述第二轴而延伸的第二梁部。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||