基于合成射流的压电微泵

摘要

本实用新型公开了一种基于合成射流的压电微泵，包括泵进口、泵出口、上泵体、上腔体、喷口、下泵体、下腔体、振动膜片和压电致动器，泵进口和泵出口位于泵的最上端，上泵体下部是上腔体，泵进口和泵出口通过上腔体与喷口相连通，下泵体位于上腔体的下方，喷口将上、下腔体连通，振动膜片粘结于下泵体下表面，压电致动器通过粘结剂（导电环氧树脂）粘结在振动膜片下表面。其特点是：将合成射流技术成功应用到微泵领域中，得到一种大流量，能够实现连续出流的压电式微泵，该微泵结构简单，操作方便，无电磁干扰，能耗低；所述的合成射流致动器为压电式，可获得较大喷口速度,成本低,振动频率范围宽。

主权项

1.基于合成射流的压电微泵，包括上泵体、上腔体、喷口、下泵体、下腔体、振动膜片和压电致动器，在上泵体上加工出泵进口和泵出口，上泵体和下泵体由上到下键合在一起，上泵体下方是上腔体，下泵体下方是下腔体，泵进口和泵出口通过上腔体与喷口相连通，喷口将上、下腔体相连通，振动膜片粘结于下泵体下表面，压电致动器通过粘结剂粘结在振动膜片下表面中央，其特征在于：喷口直径为0.1mm-2mm，上腔体的高度与喷口的直径比值范围为：，下腔体的直径与喷口的直径比值50，喷口深度与喷口直径比值26。