外力检测传感器以及外力检测装置

摘要

本发明提供一种外力检测传感器及外力检测装置，容易制造、且能够高精度地检测施加至压电片的外力。分别使水晶片悬臂支撑于结晶体的R面在水晶片的上表面及下表面分别形成激振电极。在水晶片的下表面侧的前端部，设置电性连接于激振电极的可动电极，并与该可动电极相向地设置固定电极，并且将激振电极与固定电极连接于振荡电路。当对水晶片施加外力时，可动电极与固定电极之间的电容发生变化，从而水晶片的振荡频率发生变化。由于在结晶体的R面安装有水晶片，因此这些水晶片相对于测定对象的相对角度被自动决定。因此，容易制造，且能够进行高精度的测定。

主权项

一种外力检测传感器，对作用于压电片的外力进行检测，所述外力检测传感器的特征在于包括：压电片，一端侧被支撑于形成在结晶面的底座；一方的激振电极，设在所述压电片的一面侧；另一方的激振电极，设在所述压电片的另一面侧；振荡电路，电性连接于一方的激振电极；可变电容形成用的可动电极，设置在所述压电片的离开所述一端侧的部位，且电性连接于所述另一方的激振电极；以及固定电极，以与所述压电片隔离、并与所述可动电极相向的方式而设置，并且连接于所述振荡电路，通过压电片的弯曲来改变与所述可动电极之间的电容，由此来形成可变电容，形成从所述振荡电路经过一方的激振电极、另一方的激振电极、可动电极及固定电极而返回振荡电路的振荡回路，作为包含所述压电片、激振电极、可动电极及固定电极的组，而设置第1组以及第2组，第1组是通过在所述结晶体的第1结晶面设置第1压电片而构成第1传感器部，所述第2组是通过在第2结晶面设置第2压电片而构成第2传感器部，所述第2结晶面并不与结晶体的第1结晶面相向，且相对于第1结晶面而相对位置已被掌握。