发明名称 | 固体拍摄装置及固体拍摄装置的制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供固体拍摄装置及固体拍摄装置的制造方法,可增加固定电荷层中的电荷量。实施方式的固体拍摄装置具备受光部、第1电荷保持膜、第2电荷保持膜。受光部对入射光进行光电变换。第1电荷保持膜在受光部的入射光入射的面侧形成,保持电荷。第2电荷保持膜的氧含量比第1电荷保持膜高,在第1电荷保持膜的入射光入射的面侧形成,保持电荷。 | ||
申请公布号 | CN103367372A | 申请公布日期 | 2013.10.23 |
申请号 | CN201310066905.4 | 申请日期 | 2013.03.04 |
申请人 | 株式会社 东芝 | 发明人 | 上村昌己;宇家真司;工藤知靖 |
分类号 | H01L27/146(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 刘瑞东;陈海红 |
主权项 | 一种固体拍摄装置,其特征在于,具备:受光部,其对入射光进行光电变换;第1电荷保持膜,其形成于上述受光部的上述入射光入射的面侧,并保持电荷;以及第2电荷保持膜,其氧含量比上述第1电荷保持膜高,形成于上述第1电荷保持膜的上述入射光入射的面侧,并保持电荷。 | ||
地址 | 日本东京都 |