| 发明名称 | 金属硬掩膜组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种组合物，其至少包含下述A和B：A)聚合物，其包含聚合形式的至少一种“含有至少一个羟基基团的单体”，和B)有机金属化合物，其包含至少一种金属，选自Ti，Zr，Hf，Co，Mn，Zn或其组合，其中所述有机金属化合物基于A和B的总重量以大于5重量％的量存在。 | ||
| 申请公布号 | CN103365085A | 申请公布日期 | 2013.10.23 |
| 申请号 | CN201310225934.0 | 申请日期 | 2013.03.06 |
| 申请人 | 罗姆哈斯电子材料有限责任公司 | 发明人 | D·王;J·孙;P·特雷弗纳斯;K·M·奥康奈尔 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 吴培善 |
| 主权项 | 一种组合物，其至少包含下述A和B：A)聚合物，其包含聚合形式的至少一种“含有至少一个羟基基团的单体”，和B)有机金属化合物，其包含至少一种金属，选自Ti，Zr，Hf，Co，Mn，Zn或其组合，其中所述有机金属化合物基于A和B的总重量以大于5重量％的量存在。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||