| 发明名称 | 透光性硬质薄膜 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种透过率和膜强度高的透光性硬质薄膜。本发明的透光性硬质薄膜由形成于基板(S)表面的层叠膜(102)构成，层叠膜(102)具有将SiO2层(104)和SiC层(106)交替地层叠多个而成的超晶格结构，整体膜厚为3000nm以上。各层(104、106)的每一层的膜厚为，SiO2层：5～30nm，SiC层：SiO2层的30～60％。 | ||
| 申请公布号 | CN103370437A | 申请公布日期 | 2013.10.23 |
| 申请号 | CN201280000487.2 | 申请日期 | 2012.02.16 |
| 申请人 | 新柯隆株式会社 | 发明人 | 菅原卓哉;青岛光;姜友松;盐野一郎 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01)I;C23C14/10(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 蒋亭 |
| 主权项 | 一种透光性硬质薄膜，是形成于基体的表面的具有透光性的硬质薄膜，其特征在于，由具有将SiO2层和SiC层交替地层叠多个而成的超晶格结构的层叠膜构成，每一层的膜厚为，SiO2层：5nm以上30nm以下，SiC层：SiO2层的30％以上60％以下，整体膜厚为3000nm以上。 | ||
| 地址 | 日本国神奈川县 | ||