发明名称 芯片研磨方法
摘要 本发明提出一种芯片研磨方法,其特征在于包括以下步骤:使用400号水砂纸研磨芯片的塑封体至露出金属片;使用600~2400号水砂纸研磨芯片的金属片至露出芯片;使用4000号水砂纸研磨芯片,且以氧化铝水溶液抛光。本发明通过利用400~4000号水砂纸替代化学试剂,可以加速工程时间减少多种步骤,避免化学试剂接触样品,避免样品损伤机率。
申请公布号 CN103358223A 申请公布日期 2013.10.23
申请号 CN201210083204.7 申请日期 2012.03.26
申请人 上海唯环网络科技有限公司 发明人 张芳
分类号 B24B37/04(2012.01)I 主分类号 B24B37/04(2012.01)I
代理机构 上海唯源专利代理有限公司 31229 代理人 曾耀先
主权项 一种芯片研磨方法,其特征在于包括以下步骤:使用400号水砂纸研磨芯片的塑封体至露出金属片;使用600~2400号水砂纸研磨芯片的金属片至露出芯片;使用4000号水砂纸研磨芯片,且以氧化铝水溶液抛光。
地址 201108 上海市闵行区剑川路951号5幢6层B6024室