晶圆之中心检测方法及记录有该方法之记录媒体

摘要

〔课题〕提供一种：能够减少载置台之移动量，而缩短晶圆之对位时间的晶圆之中心检测方法。;〔解决方法〕本发明之晶圆之中心检测方法，系为在对被载置于可移动之载置台１１上的附有缺口之晶圆W作对位时，具备有：当将晶圆W经由第1CCD摄像机14来摄像，并根据被显示在显示画面16上之晶圆画像，而检测出晶圆之中心时，藉由第1CCD摄像机14，来以缺口为中心地将晶圆W作摄像之工程；和从晶圆W之画像，来抽出边缘线E之工程；和从边缘线E，来检测出缺口形状之工程；和根据缺口形状，来计算出晶圆W之中心G之工程。