| 摘要 |
Die Erfindung schafft einen mikromechanischen Drucksensor mit einem hochdynamischen Messbereich. Der Drucksensor weist zwei druckempfindliche, geschlossene Sensormembranen auf, wobei jede der beiden Sensormembranen an ein eigenes Druckreservoir gekoppelt werden kann, und eine zwischen den Sensormembranen angeordnete Anschlagsvorrichtung mit folgenden Elementen: ein Verankerungselement zum Verankern der Anschlagsvorrichtung an wenigstens einer der Sensormembranen; wenigstens ein die beiden Sensormembranen im Wesentlichen starr verbindendes Koppelelement; Stützelemente, mit denen eine der Sensormembranen bei einer definierten geometrischen Auslenkung kontaktierbar ist; und ein Dichtelement zum Abdichten der Anschlagsvorrichtung. Durch die im Wesentlichen starre Kopplung der beiden Sensormembranen entfällt vorteilhaft eine Subtraktion von einzelnen Absolutdruckwerten.
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