三维移动平台及应用其的ICP炬管定位装置

摘要

本发明提供了一种三维移动平台，由X、Y、Z三个方向上的互相独立的X、Y、Z向移动台组成，X、Y向移动台结构相同，组成“十”字型，X向移动台置于底层，Y向移动台设于X向移动台之上，Z向移动台位于顶层。还提供了一种ICP炬管定位装置，该装置包括上述三维移动平台以及ICP光源发生设备，ICP光源发生设备安装在所述三维移动平台的Z向移动台的承载平台上，由炬管、炬管夹持座、RF线圈和高频发生器组成，炬管夹持座固定安装在承载平台上，炬管设于RF线圈的内部，RF线圈的两端与高频发生器的铜接头螺纹连接。本发明的有益效果：三维移动平台运行稳定、定位精确；将其应用于ICP炬管定位装置，实现炬管重复准确定位，结构紧凑，可靠性高。

主权项

三维移动平台，由X、Y、Z三个方向上的互相独立的X、Y、Z向移动台组成，其特征在于，所述X向移动台包括X向底座、X向导轨支撑座、X向直线导轨、X向导轨滑块、X向电机固定座、X向电机、X向联轴器、X向丝杆固定座、X向滚珠丝杆、X向丝杆螺母、X向丝杆支撑座，其中，X向导轨支撑座固定在X向底座的X向两侧，X向直线导轨分别固定在两侧的X向导轨支撑座上，X向导轨滑块的下部设有开口并套设在X向直线导轨上部，X向导轨滑块的上部固定在Y向底座的底部；X向电机固定座固定在X向底座的X向一侧，X向电机固定在X向电机固定座上，X向电机的输出轴通过X向联轴器与X向滚珠丝杆连接，X向滚珠丝杆一端通过X向丝杆固定座固定，另一端通过X向丝杆支撑座与X向丝杆螺母连接，X向丝杆固定座固定在X向底座上；X向丝杆螺母与Y向底座固定；所述Y向移动台包括Y向底座、Y向导轨支撑座、Y向直线导轨、Y向导轨滑块、Y向电机固定座、Y向电机、Y向联轴器、Y向丝杆固定座、Y向滚珠丝杆、Y向丝杆螺母、Y向丝杆支撑座，其中，Y向导轨支撑座固定在Y向底座的Y向两侧，Y向直线导轨分别固定在两侧的Y向导轨支撑座上，Y向导轨滑块的下部设有开口并套设在Y向直线导轨上部，Y向导轨滑块的上部固定在Z向底座的底部；Y向电机固定座固定在Y向底座的Y向一侧，Y向电机固定在Y向电机固定座上，Y向电机的输出轴通过Y向联轴器与Y向滚珠丝杆连接，Y向滚珠丝杆一端通过Y向丝杆固定座固定，另一端通过Y向丝杆支撑座与Y向丝杆螺母连接，Y向丝杆固定座固定在Y向底座上；Y向丝杆螺母与Z向底座的底部固定；所述Z向移动台包括Z向底座、Z向电机、主动带轮、同步齿形带、从动带轮、升降轴、承载平台，其中，Z向电机固定在Z向底座上，Z向电机的输出端与主动带轮连接，主动带轮通过同步齿形带与从动带轮连接，从动带轮与升降轴键连接；升降轴设于承载平台与Z向底座之间，升降轴的螺旋副采用梯形、单线螺纹滑动丝杆，其上部通过升降螺母与承载平台固定连接，底部通过紧定螺钉与轴端挡圈连接。