三次元形状测定装置用探针及三次元形状测定装置

摘要

本发明之三次元形状测定装置用探针包含有安装用构件、摇动部、连结机构、臂部安装部、及片弹簧。在臂部安装部垂下地安装有于下端配置有测头的臂部。臂部安装部系透过片弹簧而保持于摇动部。且摇动部系藉由连结机构可向水平方向倾动地连结于安装用构件。藉由摇动部之可动侧磁石与安装用构件之固定侧磁石间的磁性吸引力，使摇动部回到臂部延伸于垂直方向之中立位置的复原力产生作用。垂直面测定时之测定力系由可动侧磁石与固定侧磁石之间的磁性吸引力所得，而水平面测定时之测定力则由片弹簧向垂直方向挠曲所得。