摘要 |
Es wird eine Emissionskanone für geladene Teilchen bereitgestellt, mit welcher die Reinigung einer Spitze ohne ein Unterbrechen des Betriebs der Emissionskanone für geladene Teilchen über einen langen Zeitraum, und ohne ein Aufheizen der Spitze möglich ist. Die Emissionskanone für geladene Teilchen umfasst ein Reinigungs-Lichtbestrahlungsgerät, welches ultraviolettes Licht oder infrarotes Licht zum Bestrahlen einer Spitze erzeugt, und einen Lichtleiter zum Führen des ultravioletten Lichts oder infraroten Lichts in die Richtung der Spitze. Das Reinigungs-Lichtbestrahlungsgerät erzeugt ultraviolettes Licht oder infrarotes Licht mit einer vorgegebenen Wellenlänge und Intensität, um auf der Spitze adsorbierte Moleküle durch Photonen-stimulierte Desorption zu desorbieren, oder um auf der Spitze adsorbierte Moleküle durch Photonen-stimulierte Desorption zu desorbieren und das desorbierte Molekül zu ionisieren.
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