Strukturmessverfahren und Strukturmessgerät

摘要

Es wird ein Strukturmessverfahren und ein Strukturmessgerät bereitgestellt, welche ein Rasterelektronenmikroskop verwenden. REM-Bilder einer Messzielstruktur werden jeweils bei wenigstens zwei vorgegeben Beschleunigungsspannungen gewonnen. Weißbandbreiten der Messzielstruktur werden aus den gewonnenen REM-Bildern ermittelt. Dann wird ein Betrag der Änderung der Weißbandbreite zwischen den vorgegeben Beschleunigungsspannungen berechnet. Ein Seitenwandwinkel der Messzielstruktur wird auf der Grundlage einer im Vorhinein unter Verwendung einer Probe mit bekanntem Seitenwandwinkel experimentell erhaltenen Beziehung zwischen einem Betrag der Änderung einer Weißbandbreite und einem Seitenwandwinkel berechnet.