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Integrierte Test-Schaltungsanordnung (10), mit integrierten Teststrukturen (80 bis 86), und mit mindestens einem der folgenden Elemente oder Einheiten: einer integrierten Erfassungseinheit (102, 42), die für die Teststrukturen (80 bis 86) jeweils mindestens eine physikalische Eigenschaft erfasst, wobei die Erfassungseinheit mindestens eine Multiplexereinheit (102) enthält, deren Eingänge mit jeweils einer Teststruktur (80 bis 86) elektrisch verbunden sind, und/oder einer integrierten Versorgungseinheit, die die Teststrukturen unabhängig voneinander schaltbar versorgt und jeweils unabhängig voneinander mit einem Strom oder einer Spannung speist.
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