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发明名称 CONVEYANCE DEVICE FOR FILM SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP2514852(A4) 申请公布日期 2013.10.09
申请号 EP20100837410 申请日期 2010.11.22
申请人 FUJI ELECTRIC CO., LTD. 发明人 NISHIZAWA, MASANORI;YOKOYAMA, SHOJI;YAMADA, TAKANORI
分类号 C23C14/56;B65H9/16;B65H23/025;B65H23/032;B65H23/038;C23C16/44 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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