| 发明名称 | 蓝宝石衬底贴蜡装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种蓝宝石衬底贴蜡装置；包括支架，支架上设置有贴蜡装置、冷却装置和加热装置；贴蜡装置包括隔离板（101），所述隔离板（101）上方设置有晶片保持件（103）；所述加热装置包括加热台（104）；所述冷却装置包括冷却台（105）。相对应于隔离板（101）的形状，在加热台（104）和冷却台（105）上分别设置有隔离板放置槽。 | ||
| 申请公布号 | CN203232859U | 申请公布日期 | 2013.10.09 |
| 申请号 | CN201320136477.3 | 申请日期 | 2013.03.25 |
| 申请人 | 上海超硅半导体有限公司 | 发明人 | 李显俊;何静生;李显元;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人 | 金祺 |
| 主权项 | 蓝宝石衬底贴蜡装置；包括支架；其特征是：所述支架上设置有贴蜡装置、冷却装置和加热装置；贴蜡装置包括隔离板（101），所述隔离板（101）上方设置有晶片保持件（103）；所述加热装置包括加热台（104）；所述冷却装置包括冷却台（105）。 | ||
| 地址 | 201617 上海市松江区石湖荡镇闵塔路808号3号厂房 | ||