用于施加显影图案于基板的显影模板及产生显影模板的方法

摘要

本发明涉及一种例如用于施加接触（触指101、总线102）于一太阳能电池单元（100）的基板（1）的显影模板（2），及涉及一种用于产生此一显影模板（2）的方法。该显影模板（2）包括一载体层（21）与一结构层（22），该结构层位于该载体层（21）的下方，该结构层（22）具有至少一个显影开口（23a），该显影开口为对应该接触（触指101、总线102）的该显影的至少一部分，该载体层（21）具有一个或多个载体层开口（23b），且当从上面看该显影模板（2）时，这些一个或多个载体层开口（23b）重叠有关该显影开口（23a），该重叠为采用一方法，该方法为该显影模板（2）具有一开口（23），该开口从这些至少一个显影开口（23a）和这些一个或多个载体层开口（23b）形成，且适于通过该开口（23）施加接触材料于该基板（1）。

主权项

一种用于施加显影图案（101、102）于一基板（1）的显影模板，所述显影模板包括：‑一载体层（21）及‑一结构层（22），所述结构层位于所述载体层（21）的下方，其中‑所述结构层（22）具有至少一个显影开口（23a），所述至少一个显影开口对应于所述显影图案（101、102）的显影的至少一部分，‑所述载体层（21）具有一个或多个载体层开口（23b）及‑当从上方看所述显影模板（2）时，所述一个或多个载体层开口（23b）重叠有关所述显影开口（23a），所述重叠为采用一方法，所述方法为所述显影模板（2）具有一开口（23），所述开口由所述至少一个显影开口（23a）与所述一个或多个载体层开口（23b）形成，且适于通过所述开口（23）施加一显影介质于所述基板（1）。