发明名称 | 气体分析器 | ||
摘要 | 本发明的气体分析器包含:离子化部(211),用以离子化试样气体;第1离子检测部(212)及第2离子检测部(213),夹着所述离子化部(211)而设置,并且离开所述离子化部(211)起算的距离相互不同,以检测来自所述离子化部(211)的离子;过滤器部(214),设在所述离子化部(211)及所述第1离子检测部(212)之间,选择性地使来自所述离子化部(211)的离子通过;运算装置(3),利用通过所述第1离子检测部(212)所得的试样气体的第1全压TP1及通过所述第2离子检测部(213)所得的试样气体的第2全压TP2,修正通过所述第1离子检测部(212)所得的由所述过滤器部(214)所选择的特定成分的分压PP1;且在利用四极质谱分析法等的气体分析器中,可维持分辨率,并即使在测定值无法追随周围气体压力变化的区域也可进行修正。 | ||
申请公布号 | CN101627302B | 申请公布日期 | 2013.10.09 |
申请号 | CN200880006881.0 | 申请日期 | 2008.04.02 |
申请人 | 株式会社堀场STEC | 发明人 | 青木润次;北浦宏和;布姆赛力克·赛义德 |
分类号 | G01N27/62(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/62(2006.01)I |
代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 黄依文 |
主权项 | 一种气体分析器,包含:离子化部,用以离子化试样气体;第1离子检测部及第2离子检测部,夹着所述离子化部而设置,并且离开所述离子化部的距离相互不同,以检测来自所述离子化部的离子;过滤器部,设在所述离子化部及所述第1离子检测部之间,选择性地使来自所述离子化部的离子通过;及运算装置,利用通过所述第1离子检测部所得的试样气体的第1全压、通过所述第2离子检测部所得的试样气体的第2全压、自所述离子化部起至所述第1离子检测部为止的距离、以及自所述离子化部起至所述第2离子检测部为止的距离,修正通过所述第1离子检测部所得的由所述过滤器部所选择的特定成分的分压。 | ||
地址 | 日本国京都府 |