基准平面式超精密直驱式静压主轴动态性能在线测试方法

摘要

基准平面式超精密直驱式静压主轴动态性能在线测试方法，涉及静压主轴性能测试领域。本发明是为解决现有方法不能实现超精密静压主轴动态性能在线测试的问题。本发明方法如下：在直驱式超精密静压主轴转子的上端部安装高精度标准平面作为测量基准，采用高精度位移传感器测量主轴旋转时标准平面与高精度位移传感器之间的位移变化，通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理，从而实现超精密直驱式主轴动态性能的在线测量。本发明可以实现对处于实际加工状态下的超精密静压主轴的动态性能进行实时在线测量，不影响超精密机床的加工过程。

主权项

一种基准平面式超精密直驱式静压主轴动态性能在线测试方法，其特征在于：所述测试方法是基于立式超精密直驱式静压主轴系统来进行的，在超精密直驱式静压主轴的输入端部件(10)的上端面安装高精度标准平面(2)作为测量基准，采用高精度位移传感器(1)测量超精密直驱式静压主轴旋转时高精度标准平面(2)与高精度位移传感器(1)之间的位移变化，通过传感器信号放大与数据采集系统(21)将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机数据采集和处理系统(22)进行数据分析与处理，从而实现超精密直驱式主轴动态性能的在线测量；所述测试方法的具体实现过程为：步骤一、安装测量基准平面：将高精度标准平面(2)安装在超精密直驱式静压主轴的输入端部件(10)的上端面上，安装时将高精度标准平面(2)的下表面与安装基准面充分接触，调整完成后在高精度标准平面(2)圆周与安装基准结合部位用胶将其固定；步骤二、安装高精度位移传感器(1)：首先将龙门支架(3)固定在机床横梁支撑板(11)上，其次通过龙门支架(3)上的安装孔装入高精度位移传感器(1)；步骤三、调节测量初始间隙：缓缓转动超精密直驱式静压主轴，调整高精度位移传感器(1)与高精度标准平面(2)的初始间隙，使超精密直驱式静压主轴旋转时高精度位移传感器(1)与高精度标准平面(2)的间隙控制在高精度位移传感器(1)的测量量程范围内；步骤四、测量：运行立式超精密直驱式静压主轴系统，开启数据采集系统，实时采集高精度位移传感器(1)与高精度标准平面(2)间的距离变化情况，将数据存入计算机以备处理与分析，从而完成超精密静压主轴的动态性能在线测试操作。