铜氧化物/氧化锌基复合透明电极发光二极管及其制备方法

摘要

本发明涉及一种采用铜氧化物中间薄层来提高氧化锌基LED透明电极与p型氮化镓之间的欧姆接触，与单纯的采用金属作为中间插入层对比，铜氧化物在光透过率方面有明显提高，同时也能够和p型氮化镓形成较好的欧姆接触。本发光二极管包括：蓝宝石衬底、缓冲层、n型氮化镓、量子阱、p型氮化镓、铜氧化物薄膜、氧化锌基透明电流扩展层、p型金属电极和n型金属电极。利用铜氧化物/氧化锌复合透明电极改善了p型氮化镓与氧化锌透明电极层之间的欧姆接触，提高了LED芯片的光提取效率和LED芯片的可靠性。

主权项

一种铜氧化物/氧化锌基复合透明电极发光二极管，包括蓝宝石衬底（1）、缓冲层（2）、n型氮化镓（3）、量子阱（4）、p型氮化镓（5）、铜氧化物薄膜（6）、氧化锌基透明电流扩展层（7）、p型金属电极（8）和n型金属电极（9）；其特征在于，所述缓冲层（2）、n型氮化镓（3）、量子阱（4）、p型氮化镓（5）是在MOCVD中从蓝宝石衬底（1）上依次生长；所述的铜氧化物薄膜（6）沉积在p型氮化镓（5）的表面；所述氧化锌基透明电流扩展层（7）沉积在铜氧化物薄膜（6）上；所述n型金属电极（9）连接n型氮化镓（3），所述p型金属电极（8）连接氧化锌基透明电流扩展层（7）。