基于环状叉指电极的压电微型能量采集器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于环状叉指电极的压电微型能量采集器及其制备方法。该采集器包括由下至上的衬底层、绝缘层、键合层、压电层和上电极层；所述衬底层刻蚀留有质量块形状，所述上电极层为环状叉指结构。制备时，通过DRIE或湿法进行衬底层背面的通孔刻蚀，在衬底层上沉积绝缘层；通过键合的方法使得所述绝缘层与压电层粘接；在所述压电层上制作环状结构的上电极层，即可。本发明采用PZT等压电材料，并用键合和减薄方法制备压电薄膜，同时采用环状电极d33模式，与传统的矩形电极d33能量采集器或悬臂梁型能量采集器结构上不同。该器件具有结构简单，微细加工实现容易，体积减小，转换效率高，并且适用于低频振动源下的工作环境。

主权项

一种基于环状叉指电极的压电微型能量采集器，其特征在于，包括由下至上的衬底层、绝缘层、键合层、压电层和上电极层；所述衬底层刻蚀留有质量块形状，所述上电极层为环状叉指结构。