发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UN COMPOSANT AYANT UNE SURFACE DE CONTACT ET CAPTEUR POUR RECEVOIR UNE COMPOSANTE DIRECTIONNELLE D'UNE GRANDEUR DE MESURE DIRECTIONNELLE
摘要 <p>Procédé de réalisation d'une surface de contact (104) d'un composant (100) consistant à utiliser une structure de surface dans la plaque ayant une première cavité dans le plan d'extension principale, une profondeur qui, correspond à la longueur souhaitée de la surface de contact (104). Dans la région de la structure de surface, la matière de support reçoit une couche conductrice. Dans la zone de séparation, on dégage la matière de support, et on réalise une cavité en enlevant la matière de support de la zone de tranchée jusqu'à une profondeur dépassant la profondeur de la cavité, et on coupe la plaque dans le prolongement d'une seconde cavité pour générer une surface latérale du composant (100), la surface de contact (104 étant alignée transversalement.</p>
申请公布号 FR2988905(A1) 申请公布日期 2013.10.04
申请号 FR20130052757 申请日期 2013.03.27
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 BENZEL HUBERT;SCHELLING CHRISTOPH
分类号 H01L23/52;G01R33/04 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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