一种可提高LED发光效率的金属纳米颗粒的制备方法

摘要

本发明公开了一种可提高LED发光效率的金属纳米颗粒的制备方法。该方法包括：在光电器件需要形成金属纳米颗粒的薄膜表面生长金属薄膜；在金属薄膜表面旋涂光刻胶；刻蚀光刻胶，形成光刻胶纳米颗粒；以光刻胶纳米颗粒为掩模，刻蚀所述金属薄膜，形成金属纳米颗粒；去除光刻胶，完成金属纳米颗粒的制备。目前制备金属纳米颗粒的方法主要包括电子束光刻、自组装以及退火技术。基于氧等离子体刻蚀光刻胶会生成光刻胶纳米颗粒这一物理现象，本发明提出一种低温、低成本、无污染的制备高密度金属纳米颗粒的方法，为金属等离激元技术在光电器件研究领域的广泛应用提供一种方法。

主权项

一种制备金属纳米颗粒的方法，包括以下步骤：步骤1、在光电器件需要形成金属纳米颗粒的薄膜表面生长金属薄膜；步骤2、在金属薄膜表面旋涂光刻胶；步骤3、刻蚀光刻胶，形成光刻胶纳米颗粒；步骤4、以光刻胶纳米颗粒为掩模，刻蚀所述金属薄膜，形成金属纳米颗粒；步骤5、去除光刻胶，完成金属纳米颗粒的制备。