基于等离子体透镜阵列的非制冷红外焦平面探测器

摘要

本发明公开了一种基于等离子体透镜阵列的非制冷红外焦平面探测器，属于红外探测器制备技术领域，解决了现有技术中非制冷红外探测器灵敏度低，而基于折射型微透镜阵列的非制冷红外探测器制作工艺复杂，不利于实际应用的技术问题。本发明的非制冷红外焦平面探测器，包括读出电路，所述读出电路上的铟柱，所述铟柱上的传感器阵列，所述传感器阵列上的红外谐振腔吸收器，所述红外谐振腔吸收器上的金属光栅等离子体透镜阵列，所述金属光栅等离子体透镜阵列由紧密排列的等离子体透镜构成，每个等离子体透镜由被刻蚀的中心小孔和多个同心圆环组成。本发明的非制冷红外焦平面探测器具有高灵敏度、高信噪比、高效率，且制备工艺简单，利于实际应用。

主权项

基于等离子体透镜阵列的非制冷红外焦平面探测器，其特征在于，包括读出电路(5)，所述读出电路(5)上的铟柱(4)，所述铟柱(4)上的传感器阵列(3)，所述传感器阵列(3)上的红外谐振腔吸收器(2)，所述红外谐振腔吸收器(2)上的金属光栅等离子体透镜阵列(1)，所述金属光栅等离子体透镜阵列(1)由紧密排列的等离子体透镜构成，每个等离子体透镜由被刻蚀的中心小孔和多个宽度相同的同心圆环组成，同心圆环的周期固定。