晶圆涂蜡台

摘要

晶圆涂蜡台，包括带有边缘凸台的旋转台，旋转台的内部台阶带有通孔，导气导蜡台装在所述通孔内并与旋转台底部留有空间，导气导蜡台带有导气导蜡孔，导气导蜡孔为喇叭形通孔；旋转台的内部台阶高于导气导蜡台，内部台阶上设置有涂蜡层，涂蜡层与边缘凸台之间均布有边缘排蜡槽，边缘排蜡槽为贯通槽；相邻边缘排蜡槽的连接段上设有连通流道，连通流道设置在靠近涂蜡层一侧；涂蜡层上均布有导气导蜡流道，导气导蜡流道将导气导蜡台和边缘排蜡槽、连通流道连通，导气导蜡流道的底面与导气导蜡台上端面处于同一水平面。本实用新型结构简单，可保证涂覆蜡层的厚度均匀，同时能去除涂蜡过程中产生的气孔空洞现象。

主权项

晶圆涂蜡台，其特征在于：包括带有边缘凸台（311）的旋转台（31），旋转台（31）的内部台阶（312）带有通孔，导气导蜡台（32）装在所述通孔内并与旋转台（31）底部留有空间（317），导气导蜡台（32）带有导气导蜡孔（321），导气导蜡孔（321）为喇叭形通孔；旋转台（31）的内部台阶（312）高于导气导蜡台（32），内部台阶（312）上设置有涂蜡层（313），涂蜡层（313）与边缘凸台（311）之间均布有边缘排蜡槽（314），边缘排蜡槽（314）为贯通槽；相邻边缘排蜡槽（314）的连接段上设有连通流道（315），连通流道（315）设置在靠近涂蜡层（313）一侧；涂蜡层（313）上均布有导气导蜡流道（316），导气导蜡流道（316）将导气导蜡台（32）和边缘排蜡槽（314）、连通流道（315）连通，导气导蜡流道（316）的底面与导气导蜡台（32）上端面处于同一水平面。