一种具有单面引线结构的压电激励器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种具有单面引线结构的压电激励器，包括压电片和贴附于其上下表面的电极及电极引线，原有上电极分为不对称的两块电极，其中较大的一块形成工作上电极，较小的一块通过银浆与原有下电极导通构成引线下电极，压电激励器位于振动薄膜下表面。本发明公开的上述压电激励器的制作方法，采用湿法刻蚀将上电极分为不对称的两块电极，将压电片与硅片键合在一起，化学机械法减薄压电片，采用低压化学气相沉积法在压电片的下表面沉积下电极，采用银浆把上电极分割出的小块电极与原有下电极导通构成引线下电极，把引线焊接在上下电极上。由于上下电极引线在同一个固定平面，避免薄膜周期振动过程中电极短路和引线脱落，提高了压电式合成射流器的可靠性。

主权项

一种具有单面引线结构的压电激励器，依次包括上电极、压电片（6）和下电极（8）；上电极与待驱动物体粘接，其特征在于：所述上电极被隔离槽分割为相互独立的工作上电极（4）和引线下电极（10）；引线下电极（10）与下电极（8）通过涂敷的银浆（11）导通；通过焊接在工作上电极（4）上的上电极引线（5）为工作上电极（4）加载电压，通过焊接在引线下电极（10）上的下电极引线（9）为下电极（10）加载电压。