发明名称 |
一体化水冷直封大功率电子元件散热装置及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种一体化水冷直封大功率电子元件散热装置,其在散热器表面上依次设有氧化铝绝缘层、缓冲层、一级导电层、二级导电层、可焊层;或者,其在散热器表面上依次设有氮化铝绝缘层、氮化钽层、缓冲层、一级导电层、二级导电层、可焊层。该散热装置的制造方法,包括以下步骤:1)在散热器表面上形成一层氧化铝绝缘层;2)再形成一层缓冲层;3)再形成一级导电层;4)再形成二级导电层;5)再镀上可焊层金属;或者包括以下步骤:1)在散热器表面上形成一层氮化铝绝缘层;2)再形成一层氮化钽层;3)再形成一层缓冲层;4)再形成一级导电层;5)再形成二级导电层;6)再镀上可焊层金属。本发明的散热装置的散热效果好。 |
申请公布号 |
CN103337587A |
申请公布日期 |
2013.10.02 |
申请号 |
CN201310236397.X |
申请日期 |
2013.06.14 |
申请人 |
惠州市力道电子材料有限公司 |
发明人 |
崔国峰;范玥;赵杰 |
分类号 |
H01L33/64(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/64(2010.01)I |
代理机构 |
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 |
代理人 |
谭英强 |
主权项 |
一种一体化水冷直封大功率电子元件散热装置,其特征在于:其在散热器表面上依次设有氧化铝绝缘层、缓冲层、一级导电层、二级导电层、可焊层;或者,其在散热器表面上依次设有氮化铝绝缘层、氮化钽层、缓冲层、一级导电层、二级导电层、可焊层。 |
地址 |
516081 广东省惠州市大亚湾西区科技创新园科技路5号 |