发明名称 一体化水冷直封大功率电子元件散热装置及其制造方法
摘要 本发明公开了一种一体化水冷直封大功率电子元件散热装置,其在散热器表面上依次设有氧化铝绝缘层、缓冲层、一级导电层、二级导电层、可焊层;或者,其在散热器表面上依次设有氮化铝绝缘层、氮化钽层、缓冲层、一级导电层、二级导电层、可焊层。该散热装置的制造方法,包括以下步骤:1)在散热器表面上形成一层氧化铝绝缘层;2)再形成一层缓冲层;3)再形成一级导电层;4)再形成二级导电层;5)再镀上可焊层金属;或者包括以下步骤:1)在散热器表面上形成一层氮化铝绝缘层;2)再形成一层氮化钽层;3)再形成一层缓冲层;4)再形成一级导电层;5)再形成二级导电层;6)再镀上可焊层金属。本发明的散热装置的散热效果好。
申请公布号 CN103337587A 申请公布日期 2013.10.02
申请号 CN201310236397.X 申请日期 2013.06.14
申请人 惠州市力道电子材料有限公司 发明人 崔国峰;范玥;赵杰
分类号 H01L33/64(2010.01)I 主分类号 H01L33/64(2010.01)I
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人 谭英强
主权项 一种一体化水冷直封大功率电子元件散热装置,其特征在于:其在散热器表面上依次设有氧化铝绝缘层、缓冲层、一级导电层、二级导电层、可焊层;或者,其在散热器表面上依次设有氮化铝绝缘层、氮化钽层、缓冲层、一级导电层、二级导电层、可焊层。
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