发明名称 |
用于沉积锡和锡合金的自催化镀液组合物 |
摘要 |
本发明公开了一种自催化镀锡液,所述镀锡液含有Sn2+离子、作为还原剂的Ti3+离子、有机络合剂、以及作为稳定剂的菲咯啉或其衍生物。所述镀液适于印刷电路板、IC基底的制造和半导体晶片的金属化。 |
申请公布号 |
CN103339287A |
申请公布日期 |
2013.10.02 |
申请号 |
CN201280006717.6 |
申请日期 |
2012.01.11 |
申请人 |
埃托特克德国有限公司 |
发明人 |
阿恩德·基利安;延斯·韦格里希特;伊莎贝尔-罗达·希施科恩 |
分类号 |
C23C18/31(2006.01)I;C23C18/52(2006.01)I |
主分类号 |
C23C18/31(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
郭国清;穆德骏 |
主权项 |
1.一种含水自催化镀锡液组合物,其包含水溶性Sn<sup>2+</sup>离子源、水溶性Ti<sup>3+</sup>离子源、至少一种有机络合剂以及稳定化添加剂,所述稳定化添加剂选自根据式(1)、式(2)的化合物和其混合物<img file="FDA00003575357000011.GIF" wi="676" he="423" />式(1)<img file="FDA00003575357000012.GIF" wi="936" he="414" />式(2)其中根据式(1)的R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7和R8以及根据式(2)的R9、R10、R11和R12独立地选自氢、卤素、硝基、甲基、乙基、1-丙基、2-丙基、苯基、羟基、磺酸酯基、苯基磺酸酯基、氨基、酰胺基、羧酸酯基,且R13选自氢和磺酸酯基。 |
地址 |
德国柏林 |