| 摘要 |
本发明提供一种滤波器器件，其包含一基板(302)及放置于该基板之一第一表面上之复数个水平间隙闭合致动器(GCA)器件(550)。该复数个GCA器件包含一或多个GCA变容器(700)。该复数个水平GCA器件之各者包含至少一驱动梳状结构(602a、602b、702a、702b)、至少一输入/输出(I/O)梳状结构(616a、616b、716a、716b)及叉合该等驱动梳状结构及该等I/O梳状结构之至少一桁架梳状结构(604、704)。该桁架梳状结构经组态以基于施加于该桁架梳状结构与该驱动梳状结构之间之一偏压电压而沿介于至少一第一叉合位置与一第二叉合位置之间之一运动轴移动。 |
