| 摘要 |
本发明涉及厚度或表面形状测定方法，本发明之厚度或表面形状测定方法，利用白色光干涉计测定层叠在基底层上之薄膜层之厚度或表面形状，其中，包括以下步骤：假定具有不同厚度之多个样品薄膜层并模拟对各样品薄膜层之干涉信号，以提供对应于各厚度之模拟干涉信号；向所述薄膜层照射白色光，获得对于入射到上述薄膜层之光轴方向之实际干涉信号；根据所述实际干涉信号，准备可能成为所述薄膜层之厚度之多个估计厚度；比较具有与上述估计厚度对应之厚度之模拟干涉信号和上述实际干涉信号是否实质上一致；以及将与上述实际干涉信号实质上一致的模拟干涉信号之厚度确定为上述薄膜层之厚度。 |
