薄膜电晶体结构及其制作方法

摘要

一薄膜电晶体结构包含一载板、一闸极层、一闸极介电层、一第一半导体层、一第二半导体层以及二半导体边衬。闸极层系形成于该载板表面。闸极介电层系覆盖该载板及该闸极层。第一半导体层形成于该闸极介电层表面，且包含一通道区。第二半导体层形成于该第一半导体层之上，且包含一源极区域及一汲极区域，该源极区域及该汲极区域间形成一凹部，该凹部邻接该源极区域及汲极区域处形成二内侧壁。二半导体边衬分别邻接该二内侧壁及该通道区表面。