| 摘要 |
<p>La présente invention concerne un appareil de dépôt sous vide (10) à cellules à vanne équipé d'un dispositif de détection de fuite (50) à l'hélium présentant un temps de réponse court et une dynamique de mesure élevée. Plus précisément, le dispositif de détection de fuite est adapté à tester l'étanchéité d'un réservoir interne (24) d'une cellule à vanne (20) de l'appareil de dépôt sous vide, soit au niveau de sa bride de chargement (25), soit au niveau de sa vanne de réservoir interne (28). À cet effet, l'invention propose un appareil de dépôt sous vide équipé d'un détecteur d'hélium (51) monté en dérivation sur la sortie d'une pompe turbomoléculaire (42) à gros débit, cette pompe turbomoléculaire étant connectée à la chambre de dépôt sous vide (30) de l'appareil de dépôt sous vide au moyen d'une vanne-tiroir (43). En outre, l'invention propose également un appareil de dépôt sous vide à cellules à vanne équipé d'un dispositif de détection de fuite à l'hélium comportant des moyens d'injection de gaz (52, 53) adaptés à injecter un mélange gazeux dans l'enceinte externe, le mélange gazeux étant composé d'hélium pur et d'un gaz inerte. Enfin, l'invention propose un procédé de détection d'une fuite dans un appareil de dépôt sous vide à cellules à vanne.</p> |
