真空设备的改良

摘要

本发明是指一种真空设备的改良，该真空设备具有相互连接的腔体，腔体设有腔室，腔室设有出入口及开启与封闭出入口的出入口门。而腔室下方具有承接单元，承接单元分布有滚动端子及枢转轮，其中，接近出入口门处于腔体外设有一近门滚动端子，腔体外相对近门滚动端子配置有伸缩元件，伸缩元件组件具通过近门滚动端子后伸入腔室的伸缩心轴，伸缩心轴于腔室中固定有一枢转轮。伸缩元件可控制枢转轮后缩，用以回避活动中出入口门的效果功能。

主权项

一种真空设备的改良，该真空设备具有相互连接的腔体及组装有加热装置的腔体，腔体设有腔壁，据腔壁围设形成有腔室，腔室设有互通腔体及开启对外的出入口，以及运作中可旋转开启与封闭出入口的出入口门，而腔体下方具有承接单元，承接单元于腔体外分布有相互连接的滚动端子，且腔体外设有驱动滚动端子旋转的旋动元件；而后，腔室内分布有据滚动端子轴接旋动的枢转轮，枢转轮上可输送有容纳基板的基板载部，其特征在于：该承接单元接近出入口门处于腔体外设有一近门滚动端子，腔体外于相对近门滚动端子配置的横接架，横接架固接有伸缩元件，伸缩元件具有一通过近门滚动端子中心后伸入腔室的伸缩心轴，伸缩心轴于腔室中固定有可连动回避运作中出入口门的枢转轮。