制备有机纳米线的气相喷涂装置及Alq3纳米线的制备方法

摘要

本发明公开了一种使用简便的制备有机纳米线的气相喷涂装置及使用该装置的Alq3纳米线制备方法。该装置包括气体输送管道、加热装置以及带有冷却装置的基底，气体输送管道的一端为惰性气体的输入端，另一端为惰性气体与有机蒸气的喷射端，该喷射端位于基底的上方并具有与该基底上表面垂直的中心喷口和环形喷口，该气体输送管道包括分别与所述中心喷口和环形喷口导通且彼此独立的第一气体管道和第二气体管道，第一气体管道上设有有机材料存放及气化腔室，第一气体管道和第二气体管道的入口分别通过流量控制器与气体输送管道的输入端导通；加热装用于对第一气体管道和第二气体管道、有机材料存放及气化腔室以及基底上表面的基片容置区域进行加热和保温。

主权项

制备有机纳米线的气相喷涂装置，其特征在于：它包括由耐热材料制成的气体输送管道、加热装置以及带有冷却装置的基底（8），所述气体输送管道的一端为惰性气体的输入端，另一端为惰性气体与有机蒸气的喷射端，该喷射端位于基底（8）的上方并具有与该基底（8）上表面垂直的中心喷口（20）以及围绕该中心喷口（20）的环形喷口（30），该气体输送管道包括分别与所述中心喷口（20）和环形喷口（30）导通且彼此独立的第一气体管道和第二气体管道，所述第一气体管道上设有有机材料存放及气化腔室（4），第一气体管道和第二气体管道的入口分别通过单独的流量控制器（13）与气体输送管道的输入端导通；所述加热装置位于气体输送管道的外侧并用于对第一气体管道和第二气体管道、有机材料存放及气化腔室（4）以及基底（8）上表面的基片容置区域进行加热和保温。