晶圆搬运机器人

摘要

本发明提供一种在相对的腔之间可以顺畅地移动半导体晶圆的搬运机器人。晶圆搬运机器人（100）具有由两个连杆（12、13）构成的臂（10）。臂（10）的前端设有晶圆保持件（6）。相当于臂（10）的基部的驱动连杆（13）以能旋转的方式连接于壳体（2）。臂（10）具有将臂前端的伴随着驱动连杆（13）的旋转的运动限制为直线或曲线的运动轨迹的构造，并且该运动轨迹满足下述关系，即：起点（Ws）和终点（We）位于离驱动连杆（13）的旋转中心等距离的位置，臂前端的在起点时的朝向与臂前端的在终点时的朝向相对于通过起点与终点之间的中点和上述旋转中心的直线呈镜像关系。

主权项

一种晶圆搬运机器人，该晶圆搬运机器人用于搬运半导体晶圆，其特征在于，该晶圆搬运机器人包括：壳体；臂，臂前端安装有晶圆保持件，并且臂基部连接于壳体，该臂由多个连杆构成；致动器，其用于使相当于臂基部的驱动连杆旋转，上述臂具有将臂前端的随着驱动连杆的旋转的运动限制为直线或曲线的运动轨迹的连杆结构，臂前端的运动轨迹的起点与终点位于离驱动连杆的旋转中心等距离的位置，臂前端的在上述运动轨迹的起点时的朝向与臂前端的在上述运动轨迹的终点时的朝向相对于通过起点与终点之间的中点和上述旋转中心的直线，满足镜像关系。