基于波像差的光学系统各光学件面形的检测方法

摘要

本发明是一种基于波像差的光学系统各光学件面形的检测方法，包括步骤S1：将光学系统各元件进行粗装调，使光学系统波像差能被波像差检测装置有效检测；步骤S2：对各光学元件的空间位置进行调整，测量各位置状态下光学系统的波像差，并记录；步骤S3：将记录的光学元件位置状态及对应的光学系统波像差输入处理器，计算各光学元件的面形。本发明通过检测光学系统的波像差，来确定光学系统中各光学件的面形，装配阶段通过最终测量的光学系统波像差，获得光学系统各光学件的面形数据，可用于消除面形误差产生的系统波像差。适用于面形数据不能准确测量的光学系统，避免面形数据检测误差造成后续装调过程中的不当操作，提高光学系统的成像质量。

主权项

一种基于波像差的光学系统各光学件面形的检测方法，其特征在于：所述光学系统各光学件面形检测步骤如下：步骤S1：将光学系统各光学元件进行粗装调，使光学系统波像差能被波像差检测装置有效检测；步骤S2：对各光学元件的空间位置进行调整，测量各位置状态下光学系统的波像差，同时记录光学元件的位置状态以及该状态下的光学系统波像差；步骤S3：将记录的光学元件位置状态及该状态下对应的光学系统波像差输入处理器，计算各光学元件的面形。