滚动式倒片方法

摘要

本发明公开了一种滚动式倒片方法，包括以下步骤：1.将盛有硅片的出片片架水平放置；2.选择与出片片架尺寸相符的空的受片片架，将空的受片片架反扣在出片片架的上方，使出片片架与受片片架上的定位销与定位孔相互对准，出片片架上的片槽与受片片架上的片槽对应，将定位销插入定位孔牢固；3.将两对接牢固的出片片架与受片片架，按出片片架中硅片中心连线为轴线旋转90度放倒，使平放在出片片架片槽中的硅片改变为立于出片片架的片槽中；4.将放倒的两对接的出片片架与受片片架的出片片架一侧抬高至与水平面呈10~20度角，使出片片架中盛有的硅片滚入受片片架对应的片槽中。本发明方法合理简单，可通过手工操作，方便快捷，安全。

主权项

滚动式倒片方法，其特征是，包括以下步骤：1）将盛有硅片的出片片架沿硅片中心轴线水平放置，放置的俯视图如图１；2）选择与出片片架尺寸相符的空的受片片架，将空的受片片架反扣在出片片架的上方，使出片片架与受片片架上的定位销（2）与定位孔（4）相互对准，出片片架上的片槽与受片片架上的片槽对应，将定位销（2）插入定位孔（4）牢固；3）将步骤2）两对接牢固的出片片架与受片片架，按出片片架中硅片中心连线为轴线旋转90度放倒，使放在出片片架片槽中的硅片仍然立于出片片架的片槽(3)中；4）将步骤3）放倒的两对接片架之出片片架（1‑1）的平行于硅片轴线的外侧抬高至与水平面呈10~20度角，使出片片架中所盛的硅片滚入受片片架对应的片槽（3）中；５）对滚入硅片的受片片架，按硅片中心连线为轴线再小心旋转９０度使其恢复受片片架两侧槽平衡承载，取下出片片架，完成硅片的转移。