辉光放电切削装置和辉光放电切削方法

摘要

本发明提供辉光放电切削装置和辉光放电切削方法，通过辉光放电对试样进行切削，所述辉光放电切削装置包括：辉光放电管（2），在电极和试样之间施加电压而产生辉光放电；操作部（67），接受把不活泼气体和氧气混合的混合比；MFC（54），根据操作部（67）接受的混合比，分别控制不活泼气体和氧气的供给量；以及混合器（55），把由MFC（54）分别控制了供给量的不活泼气体和氧气混合，把混合气体通过配管（SP）提供给辉光放电管（2）。

主权项

一种辉光放电切削装置，在通过配管向辉光放电管提供的混合气体的气氛下，通过辉光放电对试样进行切削，所述辉光放电是通过在所述辉光放电管内部的电极和与该电极相对配置的试样之间施加电压而产生的，所述辉光放电切削装置的特征在于，所述辉光放电切削装置包括：接受部，接受将不活泼气体和氧气混合的混合比；控制部，根据所述接受部已接受的所述混合比，分别控制不活泼气体和氧气的供给量；以及供给部，把由所述控制部分别控制了供给量的不活泼气体和氧气混合，把混合气体通过所述配管提供给所述辉光放电管。