组合式处理系统

摘要

提供一组合式处理腔室。此组合式处理腔室系用以隔绝可旋式基板支撑物的径向部分，此基板支撑物转而用以支撑一基板。在一实施例中此腔室包括复数个丛集制程机头。在一实施例中具有底板的插件针对沉积制程定义一限制区域，其底板系设置于此基板支撑物与此制程机头之间。此底板具有一开口而使沉积材料能进入至此基板。经由此基板的转动与此开口的移动，此基板的多重区域系易于用以在单一基板上执行组合式处理。