小型化支撑微调装置

摘要

一种小型化支撑微调装置，其为具有例如8cm x 5cm x 4cm之体积可支撑具有数百公斤之物体，并可实现达微米等级(10-6m)之微调。此装置利用基座、滑座、滑块及调整螺栓等简单机构元件之组合以进行X、Y、Z三轴方向之微调以定位调整螺栓，并可达到结构小型化及低制造成本之目的。本发明亦有关于一种小型化支撑微调装置之运用。