表面纹理测量设备、其控制器和用于控制其的方法

摘要

一种能解决用于每个完全显示量程的误差的表面纹理测量设备，一种用于该表面纹理测量设备的控制器，以及一种用于控制该表面纹理测量设备的方法，其中包括选择任一显示量程作为参考量程，并定义用于每个显示量程的校准测量值；替换所述测量值而依次将校准测量值输入到对应于参考量程的量程放大器，以获得参考显示值rDATAi；将校准测量值输入到对应于每个显示量程的量程放大器，然后获得AD转换值ADi和显示值DATAi；计算增益误差率ki＝rDATAi/DATAi、显示分辨率DIVi＝DATAi/ADi、和已校正显示分辨率cDIVi＝DIVi×ki；以及显示已校正显示值cDIVi＝DIVi×ki。

主权项

一种表面纹理测量设备，包括：位移传感器，被配置为检测工件表面位移；显示器，被配置为显示测量结果；控制器，被配置为处理来自位移传感器的检测信号，并还被配置为在显示器上显示测量结果；其中，所述控制器包括：传感器电路，被配置为处理来自位移传感器的检测信号，并还被配置为输出所述检测信号作为测量值；量程放大器电路，包括多个量程放大器，被配置为以不同的放大因子放大所述测量值；AD转换器，被配置为对通过量程放大器电路放大的模拟信号进行数字转换；和数字电路，被配置为处理由AD转换器转换的AD转换值，并还被配置为在显示器上以对应于量程放大器的多个显示量程来显示所述AD转换值，其中数字电路还被配置为将AD转换器所转换的AD转换值与对应于显示量程的已校正显示分辨率的乘积作为已校正显示值在显示器上显示，并且其中所述已校正显示分辨率通过以下限定：选择任一显示量程作为参考量程，并定义用于每个显示量程的校准测量值；替换所述测量值而依次将校准测量值输入到对应于参考量程的量程放大器，以获得在显示器上显示的显示值作为参考显示值；替代各个测量值而将对应于每个显示量程的校准测量值输入到对应于每个显示量程的量程放大器，并然后获得用于每个显示量程的AD转换值和显示在显示器上的显示值；和对每个显示量程，通过将参考显示值除以显示值计算增益误差率，通过将显示值除以AD转换值计算显示分辨率，以及将显示分辨率和增益误差率的乘积记录为已校正显示分辨率。