| 发明名称 | 光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法 | ||
| 摘要 | 一种光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法，该装置的构成包括平行光光源、光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元，上述部件的位置关系如下：沿平行光光源发射的平行光束的前进方向依次是同光轴的光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元,所述的对准台供待对准的级联微透镜阵列放置，所述的对准台具有垂直于所述的光轴平移的机构。本发明容易实现，不仅可以用于级联微球面透镜的对准，也可以用于级联微柱面透镜的对准。 | ||
| 申请公布号 | CN103309175A | 申请公布日期 | 2013.09.18 |
| 申请号 | CN201310227449.7 | 申请日期 | 2013.06.07 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 张方;朱菁;杨宝喜;黄惠杰;黄立华;曾爱军;胡小邦;刘蕾;张佩;肖艳芬;陈明 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 一种光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置，特征在于其构成包括平行光光源（1）、光阑（2）、对准台（3）、聚光镜（4）和图像采集单元（5），上述部件的位置关系如下：沿平行光光源（1）发射的平行光束的前进方向依次是同光轴的光阑（2）、对准台（3）、聚光镜（4）和图像采集单元（5）,所述的对准台（3）供待对准的级联微透镜阵列放置，所述的对准台（3）具有垂直于所述的光轴平移的机构。 | ||
| 地址 | 201800 上海市嘉定区800－211邮政信箱 | ||